德國HNP Mikrosysteme公司推出的mzr-2965磁力密封微量泵，屬于微環(huán)形齒輪泵系列，是一款專為精密微量輸送而設(shè)計的緊湊型全封閉泵。該泵直徑僅22 mm、長度69 mm，重量約120 g，是尺寸小的工業(yè)級磁力密封微量泵之一。
HNPM mzr-2965磁力密封微量泵
mzr-2965微量泵的流量范圍為0.03至18 ml/min，最小計量容積可達(dá)10 μl，排量容積為3 μl。最大系統(tǒng)壓力為6 bar（含入口壓力與輸出壓差之和），輸出壓差范圍為0至3 bar。驅(qū)動電機采用24V直流無刷電機，功率6.4 W，集成運動控制器支持速度與位置控制。該泵適用于-15至+60℃的液體溫度范圍和0.3至500 mPa·s的粘度范圍。泵體接液部件采用不銹鋼316L、碳化鎢、陶瓷等耐磨超硬材料。
1.全封閉無軸封設(shè)計
mzr-2965微量泵最核心的特性在于其磁耦合全封閉設(shè)計——泵體沒有傳統(tǒng)的動態(tài)機械軸封。驅(qū)動力通過環(huán)繞磁力驅(qū)動裝置的液體分離杯，由旋轉(zhuǎn)磁場從外部傳遞給內(nèi)部轉(zhuǎn)子。整個轉(zhuǎn)子封閉在泵腔內(nèi)部，沒有貫穿泵壁的旋轉(zhuǎn)軸，從物理結(jié)構(gòu)上消除了軸封泄漏點。
這一設(shè)計使mzr-2965特別適用于處理結(jié)晶性、對氧氣或濕氣敏感的液體。在封閉的液冷回路中，它既能防止工質(zhì)向外泄漏，也能阻斷外界空氣和濕氣反向侵入系統(tǒng)。
2. 微環(huán)形齒輪技術(shù)帶來低脈動輸出
mzr-2965采用微環(huán)形齒輪泵原理，內(nèi)齒外轉(zhuǎn)子與外齒內(nèi)轉(zhuǎn)子在精密嚙合過程中形成封閉腔體，容積呈線性變化。這一結(jié)構(gòu)決定了其流量輸出具有天然的連續(xù)性，脈動極低。不同于蠕動泵的間歇擠壓或活塞泵的吸排轉(zhuǎn)換，微環(huán)形齒輪泵的排量曲線近乎平直，能夠在整個流量范圍內(nèi)保持高精度的穩(wěn)定輸送。
3. 集成運動控制器與靈活控制
mzr-2965集成了可編程運動控制器，支持速度控制和位置控制。控制接口包括0-10V模擬量輸入、24V數(shù)字輸入、RS-232串口及CANopen。用戶可根據(jù)實際需求，通過外部信號實時調(diào)節(jié)泵的轉(zhuǎn)速和流量，實現(xiàn)動態(tài)按需供液。
4. 緊湊結(jié)構(gòu)與長壽命
得益于全新的產(chǎn)品設(shè)計以及與集成運動控制器的優(yōu)化匹配，mzr-2965在如此小的體積內(nèi)實現(xiàn)了完整的磁力密封泵送功能。泵體采用耐磨超硬材料，在正常工況下具有長使用壽命和低能耗的特性，且磁力耦合設(shè)計使泵基本免維護(hù)。
mzr-2965與AI芯片氟化液直冷應(yīng)用的高度適配
AI芯片液冷散熱采用R1233zd等低沸點氟化液作為冷卻工質(zhì)，要求泵在600 μl/min（0.6 ml/min）的超低流量下連續(xù)穩(wěn)定運行。這一應(yīng)用場景對輸送設(shè)備提出了密封性、流動品質(zhì)、抗壓能力和控制精度的多重嚴(yán)苛要求——而mzr-2965的設(shè)計特性恰恰與這些要求高度吻合。
密封性：全封閉設(shè)計杜絕R1233zd泄漏
R1233zd常壓沸點僅18℃，常溫下即呈現(xiàn)強烈汽化傾向。傳統(tǒng)帶軸封的泵難以杜絕制冷劑蒸汽的微量滲漏。mzr-2965的全封閉無軸封設(shè)計從物理結(jié)構(gòu)上消除了這一隱患——沒有旋轉(zhuǎn)軸伸出泵體，就沒有軸封泄漏點。同時，外界濕氣也無法通過軸封間隙反向侵入閉環(huán)系統(tǒng)，避免了水分子與氟化液接觸可能引發(fā)的工質(zhì)劣化。
低脈動：保障微通道液膜穩(wěn)定
在600 μl/min的超低流量下，任何壓力波動都會被放大。蠕動泵或活塞泵的間歇式排液會產(chǎn)生顯著脈動，足以將冷板微通道內(nèi)的冷卻液膜震得支離破碎，導(dǎo)致?lián)Q熱效率驟降。mzr-2965的微環(huán)形齒輪技術(shù)提供高精度、低脈動的連續(xù)液流，確保冷卻液膜始終穩(wěn)定貼附于換熱表面。
bar壓差：從容應(yīng)對兩相流沖擊
當(dāng)R1233zd在冷板內(nèi)發(fā)生局部沸騰時，汽化膨脹會產(chǎn)生瞬時背壓沖擊。mzr-2965具備0-3 bar的輸出壓差能力，遠(yuǎn)超該類回路常見的壓力波動幅值，即使突發(fā)膨脹也能維持連續(xù)輸送。
微升級精密調(diào)節(jié)：實現(xiàn)按需供液
mzr-2965的最小計量容積僅10 μl，流量可在0.03-18 ml/min范圍內(nèi)精確調(diào)節(jié)。集成運動控制器支持根據(jù)CPU/GPU實時負(fù)載信號動態(tài)調(diào)整流量，實現(xiàn)按需供液、能效優(yōu)化。
總結(jié)
mzr-2965以其全封閉無軸封設(shè)計、微環(huán)形齒輪低脈動技術(shù)、3 bar壓差輸出能力以及微升級精密調(diào)節(jié)四大核心特性，與AI芯片R1233zd氟化液直冷場景中的密封、穩(wěn)流、抗壓、精調(diào)四重需求形成了精準(zhǔn)對應(yīng)。對于正在為AI液冷系統(tǒng)尋找超低流量氟化液輸送方案的工程師而言，mzr-2965提供了一個在產(chǎn)品設(shè)計層面即已為這一工況做好準(zhǔn)備的工程化選項。
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